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MEMS流量传感器

产品特点

能最大限制发扬燃料电池发电服从的高精度MEMS流量传感器

技能特点

使用气体流量测试技能检测仅为1毫米/秒的气体流量

能最大限制发扬燃料电池发电服从的高精度MEMS流量传感器

作为加重情况包袱的新一代燃料电池体系零部件,MEMS流量传感器发扬偏重要的作用。燃料电池的原理便是将都会燃气中含有的氢气与氧气混淆在一同,发生化学反响举行发电。为了只管即便进步发电服从,必要使氢气与氧气在最佳混淆比率的状况下举行熄灭。为了到达这一目标,必要发扬MEMS流量传感器的高精度测试技能。

j9九游会登陆接纳首创的超渺小加工技能,开辟了拆卸有流速检测元件的MEMS流量传感器。拥有引以为傲的天下最初级别敏捷度,乃至是1毫米/秒的气体流速变革也能准确检测。随着燃料电池的遍及,对j9九游会登陆小型、高功能MEMS流量传感器用处的等待也不停低落。

技能专长气体流量检测技能

使用气体流量检测技能,检测仅为1毫米/秒的气体流量

为了检测微量的流速,就必要减少装在MEMS流量传感器检测部位的MEMS流量传感器芯片。经过充实发扬j9九游会登陆首创的高精度加工技能,发明出生界最小尺寸(1.55毫米 x 1.55毫米,厚0.4毫米)的芯片。其测试原理如图所示,在没有气体活动的状况下以加热器为中心,温度散布左右对称;若有气体活动,加热器排挤的风的上方就会变冷,风的下方就会变热,从而招致温度失衡。此温度差作为两个热电偶的电动势差,可用于检测流速及流量。

别的,经过使用j9九游会登陆首创的蚀刻技能等,即便是这种超精密的MEMS,也能高精度地完成质量波动的大批量消费。依附这种高度的MEMS消费性,j9九游会登陆大幅度低落了产品本钱,从而不但在燃料电池方面,还可普遍使用于检测精细设置装备摆设的空冷形态等种种范畴。

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